之前我们曾提到，DKK的氧化锆也可用作研磨材料，在这里我们将进行更详细的介绍。
目前，金刚石、氧化铝和氧化铈是最常见的用于半导体抛光的研磨材料。
金刚石非常坚硬，氧化铝和铈次之，而氧化锆比氧化铝软，比铈硬，介于两者之间。
而使用氧化锆制成的研磨材料的优点是在不降低抛光速度的情况下，降低抛光时划伤的概率。
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氧化锆是什么材料(5)
之前我们曾提到，DKK的氧化锆也可用作研磨材料，在这里我们将进行更详细的介绍。
目前，金刚石、氧化铝和氧化铈是最常见的用于半导体抛光的研磨材料。
金刚石非常坚硬，氧化铝和铈次之，而氧化锆比氧化铝软，比铈硬，介于两者之间。
而使用氧化锆制成的研磨材料的优点是在不降低抛光速度的情况下，降低抛光时划伤的概率。
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